| 加工定制：是 | 品牌：郑州科佳电炉 | 型号：KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S |
| 最大电压：220V | 功率：5000W | 额定温度：1100℃ |
| 主要用途：SiOx 纳米硅基氧化物,?SiNx 氮化硅,?SiOxNy 非晶氮氧化硅薄膜 ?和无 | 产品认证：CE |
产品介绍：
KJ-T1200-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生长炉由KJ-1200T管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ，温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。
应用范围：
KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S型石墨烯生长炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔（像铜箔、铝箔等）上生长薄膜而设计，广泛应用在***能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。
规格参数：
产品名称 | 1200℃石墨烯生长炉 |
产品型号 | KJ-1200T-S6012LK1-4Z5S |
管式炉 | |
加热区长度 | 440mm |
恒温区长度 | 150 (+/-1 ℃) |
工作温度 | 1100℃（此温度为长期加热温度） |
温度 | 1200℃ |
炉管尺寸 | Φ60×1440mm |
等离子射频电源 | |
输出功率 | 5 ～500W ± 1% . |
射频频率 | 13.56 MHz ±0.005% . |
反射功率 | 约200W |
阻抗匹配 | 自动 |
真空泵机组（双极旋片泵） | |
真空度 | 10-3torr |
波纹管 | KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. |
质量流量计 | |
四通道控制 | 精度0.02% 、数字显示、自动控制、 一个混气罐、底部装有泄废液口 |
MFC 1范围 | 0~100 sccm |
MFC 2和3 | 0~500 sccm |
进气接口 | 1/4NPS |
出气接口 | 1/4NPS |
水冷系统 | |
水冷法兰要求 | 水流量 >= 10L/M ，配有专业水冷机组 |
