| 加工定制：是 | 品牌：郑州科佳电炉 | 型号：可订做各种不同规格 |
| 最大电压：220V | 功率：3000W | 额定温度：1100℃ |
| 主要用途：院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。 | 产品认证：CE |
PECVD系统
该PECVD系统主要由：1200型管式炉、四通道气体质子流量计、射频电源、真空泵及其它连接件等组成；
主要特点：
1.该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管；
2.炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1100℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作，表面有氧化铝涂层提高反射率及炉膛的洁净度,整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时：热电偶都已做严格的测温校验，不合格品严禁出厂。
8.还可选配功能强大的触摸屏温度控制系统，利用触摸屏丰富的的图文显示，人机交互更加轻松，设备操作更加简便。
9.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温，中温，高温的老化测试，确保产品质量稳定可靠。
10.气体流量采用电子式质量流量控制器进行***测量和控制。
11.真空泵可以长时间连续工作，可以很好的净化油气，防止污染。
12.一套设备下来的总体积是:长1800mm*宽600mm*高1200mm
主要技术参数
产品名称 | PECVD系统 |
1200型管式炉 | |
产品型号 | KJ-T1200-S6014LK1 |
炉膛模式 | 开启式 |
显示模式 | LED |
炉膛材料 | 进口纤维 |
加热元件 | 进口合金加热丝 |
极限温度 | 1200℃ |
工作温度 | ≤1150℃ |
升温速率 | ≤20℃(建议:15℃/min) |
加热温区 | 单温区 |
温区总长度 | 440mm |
每个温区长 | 200mm |
炉管材质 | 高纯石英 |
炉管直径 | 60mm |
炉管长度 | 1400mm |
密封方式 | 304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) |
气 密 性 | 真空法兰和石英炉管的气密性可达4.03×10-3Pa |
控制模式 | 厦门宇电30段智能PID程序控温 |
控温精度 | ±1℃ |
温度曲线 | 多段"时间—温度曲线"任意可设 |
预存曲线 | 可预存多条温度曲线 |
测温元件 | K型热电偶 |
供电电源 | 220V |
整机功率 | 3KW |
供气系统 KJ-4Z (七星华创的) | |
工作电压 | 220V/50HZ |
输出功率 | 18W |
工作温度 | 5--45℃ |
气压 | 3*106Pa |
精度 | ±1%FS |
气体通道 | 可同时连接3种气源(质子流量计和混气罐都安装在移动箱体内) |
流 量 计 | 质子流量计(可根据实际使用订制其他的量程) |
A路量程 | 0～100SCCM |
B路量程 | 0～200SCCM |
C路量程 | 0～500SCCM |
D路量程 | 0～500SCCM |
气路压力 | -0.1～0.15 MPa |
截止阀 | 316不锈钢材质 |
气体连接管 | 1/4不锈钢管 |
混气罐规格 | Φ80X120mm |
移动箱体尺寸 | 600*600*700高(上方可放置管式炉) |
等离子射频电源(中山格美的) | |
功率 | 500W |
射频频率 | 13.56 MHz ±0.005% |
功率输出范围 | 5-500W |
反射功率 | 200W |
溅射区域宽度 | 0-600MM可调 |
噪声 | <50 dB |
电压 | AC208-240V，50Hz |
射频接口 | 50Ω,N-type |
真空泵(含不锈钢波纹管和相关连接配件) | |
真空泵型号 | 旋片泵 |
抽气率 | 可选择不同抽速 |
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售后服务 | 12个月质保，终身保修 |
包装形式 | 三合板木质包装箱，包装箱不回收 |
