加工定制：是	品牌：郑州科佳电炉	型号：KJ-4Z
最大电压：220V	功率：500W	主要用途：搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境
产品认证：CE

多路质子供气系统详细介绍

我公司生产的多通道质子混气供气系统（主要产品是1-4通道混气供气），可将多种气体按一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内，而且移动柜顶部可以放置管式炉。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境。

技术参数

设备名称	4通道供气系统KJ-4Z	3通道供气系统KJ-3Z	2通道供气系统KJ-2Z
供气系统	工作电压：182-245V/50HZ 输出功率：18W 工作温度：5-45℃ 气压：3×106Pa 精度：±1%FS 质量流量计量程： 1:0-100sccm 2:1-199sccm 3:1-199sccm 4:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计	工作电压182-245V/50HZ 输出功率：18W 工作温度：5-45℃ 气压：3×106Pa 精度：±1%FS 质量流量计量程： 1:0-100sccm 2:1-199sccm 3:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计	工作电压：182-245V/50HZ 输出功率：18W 工作温度：5-45℃ 气压：3×106Pa 精度：±1%FS 质量流量计量程： 1:1-199sccm 2:1-499sccm 可按客户要求订制其他量程的质量流量计
移动柜	质量流量计和混气罐都安装在移动柜内移动柜顶部可放置管式炉承重量：227kg
压力表量程	-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
不锈钢截止阀	采用316不锈钢制作
气体连接管	采用1/4“的不锈钢管仪器中配有1/4”的PTFE管
混气罐尺寸	Φ80X120mm
仪器尺寸	600x600x650 mm
质保	一年质保期，终生维护