KJ-T1200-P4路质子混气PECVD系统，由KJ-T1200单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成。

  该系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化，从而大大提高了反应物的活性，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜，因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）。



设备可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜，并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。

多晶纤维炉膛，节能耐腐蚀

重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好，能满足何种快速烧结的要求。

炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工

具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。

双层内胆炉壳，配有风冷系统，快速升降温

整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。

法兰采用双环密封技术

***提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。

内嵌式合金电热丝，升温快，寿命长

加热元件采用优质内嵌式合金电热丝，发热效***、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便，使用寿命长。

微电脑PID控制器，操作简便

操作简便，控温***、可靠、安全多段可编程控制，可以简化复杂的试验过程，真正实现自动控制和运行。
炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。

真空系统采用高真空分子泵组，性能***

性能可靠：整体型复合转子，强度高、性能稳定；
洁净无油：采用脂润滑精密陶瓷轴承，无油蒸汽污染；。

标准配件：

质子流量计×1	真空系统×1	射频电源×1
气炼石英炉管×1	真空法兰×1	防烫罩×2
高温手套×1	坩埚钳×1	热电偶×1
刚玉坩埚×2	炉塞×2	中文说明书×1

 1．实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
 2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
 3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
 4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，***错误发生。
 5．具备多组历史数据记录功能。
 6．具备同时显示多段温度及时间功能。

  1.制冷量达1800W，可选用环保冷媒；

  2.温控精度可达±0.3℃；

  3.智能温控器具有两种温控模式，适用于不同的使用场合；

  有多种设定和故障显示功能；

  4.具有多种报警保护功能：压缩机延时保护；压缩机过流

  保护；水流报警；温度***/低报警；

  5.多国电源规格，CE、RoHS认证；

  6.长寿耐用，操作简便；

  7.可选配加热器和净化水质配置。

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 1、我公司对产品设备保修期一年，在此期间内设备发生质量问题，本公司对设备实行免费包修，实行终身维修服务。
 2、在保修期限内，如遇设备质量问题，用户电话、书面、传真、电子邮件或其它方式通知维修需要，我公司将在1小时回报处理方案，24小 时内技术人员到现场，或以客户要求为准，确保设备正常运行。保修期满后，我公司仍提供优质服务，仅收取材料费。
 3、针对客户的具体操作人员，我公司免费上门给予操作培训、简单故障排除、技术深入研制；将产品各项功能操作均演示给用户的操作人员，确保用户对产品能熟练的进行规范、安全操作，对一般故障能进行处理和对设备的日常维护及保养，***仪器设备使用都能够掌握使用技术。
 4、技术工程师可按要求免费上门服务(整机维护、技术讲解及操作指导等)。对产品进行免费安装、调试。我公司技术顾问随时解答客户在技术及标准规范方面的疑问及进行技术指导。
 5、由厂商负责提供运输服务及运输费用，包装方式按照原厂出厂原标准包装。
 6、全新的原包装产品，产品符合国家质量检测标准。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。