加工定制:是 | 品牌:郑州科佳电炉 | 型号:KJ-O1200-60-4CLV-PE |
最大电压:220V | 功率:5000W | 额定温度:1100℃ |
主要用途:用于集成光电子器件介质SiYNX膜的制备 |
销售热线:150 3820 1226 王倩 量大从优 厂价直销 ***质量 可以根据不同需要订做各种不同规格的设备.
主要部件的功能及其工作原理
1 电热炉(工艺管)
电热炉是***的高可靠性的发热体,是经过特殊工艺制成,它对恒温区的长度、精度以及稳定度提供了基础,是影响成膜速率和均匀性的必要条件之一。工艺管具有口径大、壁厚均匀无气泡的优良性,它水平置于炉体的中央,两端配有密封法兰,可生产8英寸圆片、6英寸方片,同时经特殊磨口为真空密封提供可靠***。
2 取放舟系统
取放舟系统采用软着炉的方式,即将石墨舟放到反应管内部后,推舟机构将退出,自动门关上。 载片舟是经特殊设计,在X轴、Y轴、Z轴三个方向可微调,再精加工而成。它直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质。成膜压力甚至气体的流量都与此结构有关。所以是本设备的核心部件。
3 气路单元
气路单元是一个独立体,它的所有使用元器件都是进口产品,具有控制***、动作可靠,布局合理,为安全生产提供一个先决条件。
4 PLC及计算机控制
本台设备PLC做工艺自动控制和安全互锁,计算机提供人机交互,工艺编辑,各种过程实时显示,参数实时时录等。装片取片由人工操作。同时有多种报警系统,如超温报警、断偶报警等。
5 真空系统
真空系统是本台设备的关键之一,它是由罗茨泵机组、电动调节阀、电磁挡板阀、压力传感器、真空管道等组成。
产品特点 | 该套PECVD是由500W交流等离子体与、开启式1200度管式炉、7通道精密质量流量计和高真空系统气体组成 |
开启式管式炉 | 工作温度:1200℃ 炉管尺寸:Φ50,Φ60,Φ80都可用 温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器 加热区长度:440mm 恒温区长度:150mm 功率:AC 220V 4KW |
等离子射频电源 | 输出功率:50-500W可调±1% RF频率: 13.56MHz的±0.005%稳定可调 冷却:风冷 输入功率:1KW AC 220V |
真空泵和阀门 | 采用KF25系列波纹管和精密针阀连接 真空度可达10-3torr 数字真空压力表可直观的显示数值 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr |
质量流量计 | 内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量 气体流量范围为0-200 误差为0.02% 一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀,不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入 进气口:采用***双卡套接头 |
超温报警 | 有 |
过流保护 | 有 |
断偶提示 | 有 |
售后服务 | 质保一年,终身保修 |